Reaktīvā magnetrona izsmidzināšana ir nobriedis paņēmiens plāna savienojuma slāņa uzklāšanai uz plaša substrātu klāsta kā virskārtu vai kā starpslāni daudzslāņu pārklājumā. “Tievu” diapazons svārstās no dažiem nanometriem līdz vairākiem mikrometriem.
Kāpēc magnetrons izsmidzina?
Magnetrona izsmidzināšana ir sadursmes process starp krītošām daļiņām un mērķiem … Magnetronu izsmidzināšana palielina plazmas blīvumu, ieviešot magnētisko lauku uz mērķa katoda virsmas un izmantojot ierobežojumus magnētiskais lauks uz uzlādētajām daļiņām, lai palielinātu izsmidzināšanas ātrumu.
Ko nozīmē reaktīvā izsmidzināšana?
Reaktīvā izsmidzināšana ir process, kas ļauj nogulsnēt savienojumus, ievadot plazmā reaktīvu gāzi (parasti skābekli vai slāpekli), ko parasti veido inerta gāze, piemēram, argons (visbiežāk), ksenons vai kriptons.
Kā darbojas magnetrona izsmidzināšana?
Magnetrona izsmidzināšana ir nogulsnēšanas tehnoloģija, kas ietver gāzveida plazmu, kas tiek ģenerēta un ierobežota telpā, kurā atrodas nogulsnējamais materiāls - “mērķis”. … Šīs sadursmes izraisa elektrostatisku atgrūšanos, kas "izsit" elektronus no izsmidzināšanas gāzes atomiem, izraisot jonizāciju.
Kāpēc RF izsmidzina?
RF jeb radiofrekvenču izsmidzināšana ir paņēmiens, kas saistīts ar strāvas elektriskā potenciāla maiņu vakuuma vidē radiofrekvencēs, lai izvairītos no lādiņa uzkrāšanās uz noteikta veida izsmidzināšanas mērķa materiāliem, kas laika gaitā var izraisīt loka veidošanos plazmā, kas izspiež pilienus …
